產品介紹
可烘烤泄漏閥用于控制氣體從外部源流入真空系統。軟金屬墊被壓在較硬的金屬座上，為準確的氣流控制創造必要的密封。
性能特點
- 不銹鋼、藍寶石和銅合金結構，使用壽命長
- 入口壓力 34 bar
- 工作壓力從 1 bar 到 10 Torr
- 非常準確的控制機構
- 可在打開或關閉位置烘烤至 450°C
- 用戶可維修
技術參數
產品尺寸
產品應用
典型應用包括氬氣處理、濺射、系統吹掃、氣體控制和激光回填
可烘烤泄漏閥用于控制氣體從外部源流入真空系統。軟金屬墊被壓在較硬的金屬座上，為準確的氣流控制創造必要的密封。
典型應用包括氬氣處理、濺射、系統吹掃、氣體控制和激光回填
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